logo new

+7 (499) 322 2814 Москва 

+7 (391) 228 7043 Красноярск 

info@krasspec.ru

Спектральный эллипсометр UVISEL

Линейка спектральных эллипсометров UVISEL обеспечивает лучшую комбинацию модульности и качества измерений для продвинутого анализа тонких пленок, поверхностей и границ раздела. Применяемая в приборе технология фазовой модуляции позволяет работать в спектральном диапазоне от 145 до 2100 нм и получать результаты с высокой точностью, высоким разрешением и отличным соотношением сигнал/шум. Технология фазовой модуляции отслеживает поляризационные изменения с высокой частотой (50 кГц) и без каких-либо механических перемещений.

Преимуществами такого метода являются высокоточные измерения для всех значений Ψ и Δ, отличное соотношение сигнал/шум от ВУФ до БИК, быстрая регистрация данных со скоростью до 50 мс на точку (идеально подходит для проведения кинетических измерений и in-situ анализа).

Эллипсометр UVISEL обладает более высокой чувствительностью и воспроизводимостью, чем стандартный эллипсометр, использующий вращающиеся элементы. Прибор позволяет исследовать сверхтонкие пленки и границы раздела, что не под силу другим эллипсометрам, а также анализировать толстые пленки до 30 мкм. Измерение и анализ прозрачных образцов просты, точны и не требуют нанесения царапин на нижнюю поверхность образца. Многофункциональное конфигурирование позволяет выбирать из 6 различных спектральных диапазонов: видимый, УФ, ИК, ВУФ и два расширенных диапазона: от 190 до 2100 нм и от 145 до 2100 нм. Автоматизированные модули и аксессуары дают возможность подобрать конфигурацию под конкретные задачи пользователя. Модульный дизайн прибора делает возможным его использование как в настольной конфигурации, так и в in-situ режиме, например, на напылительной камере.

Преимущества прибора:
Высокая точность и чувствительность;
Модульный дизайн;
Широкий спектральный диапазон: 145-2100 нм;
Полностью интегрированное программное обеспечение для измерений, моделирования и автоматизации процедур.
Получаемая информация:
→ толщины тонких пленок от 1Å до 30 мкм;
→ шероховатость поверхности и границы раздела;
→ оптические константы (n,k) для изотропных, анизотропных и градиентных образцов;
→ расчетные параметры образца, такие как: коэффициент абсорбции α, ширина запрещенной зоны Eg;
→ свойства материала: композиция компонентов сплава, пористость, степень кристалличности, морфология и др.;
→ матрица Мюллера;
→ деполяризация.

Работа UVISEL контролируется программным обеспечением DeltaPsi2, общим для всех эллипсометров HORIBA. DeltaPsi2 позволяет осуществлять полный анализ свойств тонких пленок для рутинного анализа и научных исследований.

Дополнительные принадлежности: температурная ячейка, жидкостная ячейка, электрохимическая ячейка, рефлектометрический модуль для анализа отражения при 0°.

Скачать брошюру 

Ссылка на сайт производителя

Copyright www.maxx-marketing.net

ООО "Красный спектрометр" – поставщик решений в области спектроскопии. Работаем с системами в широком спектральном диапазоне (от ультрафиолетового диапазона до терагерцового диапазона) для научных и промышленных приложений.