Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2 – мощнейший инструмент для исследования свойств тонких пленок. Предыдущая версия UVISEL показала себя, как наиболее точный и чувствительный эллипсометр. Используя данный опыт, компания HORIBA Scientific разработала новый прибор, внеся существенные улучшения в дизайн и автоматизацию. Как результат, по своим характеристикам UVISEL 2 превосходить любой из представленных на рынке аналогов.
Преимущества прибора:
- Широкий спектральный диапазон - от 190 до 2100 нм - позволяет исследовать пленки толщиной от 10 Ангстрем до 40 микрон;
- Высокочувствительная технология фазовой модуляции – модуляция поляризации осуществляется с высокой частотой (50 кГц) без механического перемещения движения, без каких-либо вибраций или отклонений луча;
- Патентованная система наблюдения образца MyAutoView, расположенная непосредственно в детектирующей головке эллипсометра, позволяет видеть точную форму и положение аналитического пятна на образце, в отличие от систем наблюдения под прямым углом к образцу.
- Патентованная система микропучка дает возможность автоматического выбора любого из 8 размеров микропятна. При этом минимальный размер микропятна – 35 микрон – является на сегодняшний момент наименьшим среди приборов данного класса. А использование только зеркальной оптики позволяет избежать искажений при анализе в диапазоне от УФ до ИК.
- Полная автоматизация прибора автоматическим гониометром, столиком XYZ, автоматической подстройкой наклона образца, функцией автокалибровки и микропучком позволяет быстро и комфортно проводить исследования образцов, а также выполнять картирование и анализ при различных углах падения.
- Время измерения полного спектрального диапазона 190-2100 нм – менее 10 минут;
- Современный дизайн – совместная разработка японских и французских специалистов. Прибор представляет собой единый модуль с внешним соединением к компьютеру всего лишь через 1 USB-кабель.
Уникальное программное обеспечение DeltaPsi2 позволяет полностью управлять прибором и проводить моделирование широкого круга образцов: анализировать многослойные, анизотропные, градиентные структуры, определять композиционный состав пленок, пористость и шероховатость. В базу данных DeltaPsi2 входит более 100 материалов и более 30 дисперсионных формул, а также алгоритмы анализа композиционных материалов. Все это позволяет исследовать образцы различной природы: полупроводники, диэлектрики и металлы, например, такие, как полимерные пленки, просветляющие покрытия, солнечные батареи, оптоэлектронные устройства и другие.
Доступные опции: температурная ячейка, жидкостная ячейка, электрохимическая ячейка, герметичная ячейка, вращающийся столик, держатель для анализа на просвет, держатель для анализа гибких образцов.
Скачать брошюру
Video: A Breakthrough in Thin Film Measurement: UVISEL 2 Ellipsometer
