Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2 – мощнейший инструмент для исследования свойств тонких пленок.
Производитель: HORIBA Scientific (Япония)
Преимущества прибора:
- Широкий спектральный диапазон - от 190 до 2100 нм - позволяет исследовать пленки толщиной от 10 Ангстрем до 40 микрон;
- Высокочувствительная технология фазовой модуляции – модуляция поляризации осуществляется с высокой частотой (50 кГц) без механического перемещения движения, без каких-либо вибраций или отклонений луча;
- Программное обеспечение DeltaPsi2 позволяет полностью управлять прибором и проводить моделирование широкого круга образцов: анализировать многослойные, анизотропные, градиентные структуры, определять композиционный состав пленок, пористость и шероховатость
- В базу данных DeltaPsi2 входит более 100 материалов и более 30 дисперсионных формул, а также алгоритмы анализа композиционных материалов. Все это позволяет исследовать образцы различной природы: полупроводники, диэлектрики и металлы, например, такие, как полимерные пленки, просветляющие покрытия, солнечные батареи, оптоэлектронные устройства и другие.
- Система наблюдения образца MyAutoView, расположенная непосредственно в детектирующей головке эллипсометра, позволяет видеть точную форму и положение аналитического пятна на образце, в отличие от систем наблюдения под прямым углом к образцу.
- Система микропучка дает возможность автоматического выбора любого из 8 размеров микропятна. При этом минимальный размер микропятна – 35 микрон – является на сегодняшний момент наименьшим среди приборов данного класса. А использование только зеркальной оптики позволяет избежать искажений при анализе в диапазоне от УФ до ИК.
- Полная автоматизация прибора автоматическим гониометром, столиком XYZ, автоматической подстройкой наклона образца, функцией автокалибровки и микропучком позволяет быстро и комфортно проводить исследования образцов, а также выполнять картирование и анализ при различных углах падения.
- Время измерения полного спектрального диапазона 190-2100 нм – менее 10 минут;
- Современный дизайн – совместная разработка японских и французских специалистов. Прибор представляет собой единый модуль с внешним соединением к компьютеру всего лишь через 1 USB-кабель.
Скачать брошюру
Смотреть видео "A Breakthrough in Thin Film Measurement: UVISEL 2 Ellipsometer"
